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WMZ-9190研究型硅片检测显微镜

大视野目镜:10X无限远长工作距离明暗场物镜:5X 10X 40X 60X 100X支持光学放大:50X-1000X

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服务承诺:一年保修,终身维护

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    一、用途

WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的金字塔 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器

硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格太阳能电池硅片生产过程中常用的检测仪器之一.


 

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技术标准

标准配置

目镜

大视野 WF10X(视场数Φ22mm)

 

无限远长工作距离平场消色差物镜

PL L5X/0.12    工作距离:26.1 mm

PL L10X/0.25   工作距离:20.2 mm

PL L40X/0.60   工作距离:3.98 mm

PL L60X/0.70   工作距离:3.18 mm

PL L100X/0.90  工作距离:2.2 mm  (干式)

目镜筒

30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. 

调焦机构

粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm.

转换器

五孔(内向式滚珠内定位

载物台

双层机械移动式载物台外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm

落射照明系统

6V30W卤素灯,亮度可调

配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片

内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器

透射照明系统

阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降

集光镜中内置视场光栏

配置蓝滤色片与磨砂玻璃片

6V30W卤素灯、亮度可调

防霉

防霉系统

 

 

系统组成

电脑型(WMZ-9190C)

1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购) 

数码型(WMZ-9190D)

1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购)

可选配件

目镜

分划目镜10X(Φ22mm

物镜

明场物镜 20X50X80X

CCD接头

0.5X1X0.5X带分划尺

摄像仪

USB输出:130/300/500/1000万像素

数码相机接头

CANON(EF) NIKON(F)

分析软件

二维图像测量分析软件

 

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